硅片充氮烘箱，無氧充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備.潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。

高溫充氮潔凈烘箱，無塵充氮烤箱是一種耐高溫，可以達到和工作場所同樣的潔凈等級烘箱。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。

硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

硅片充氮烘箱，半導體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無塵材料，箱內持續(xù)充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。

硅片無氧烘箱，半導體厭氧烤箱，在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗

SECS/GEM協(xié)議無塵烘箱，無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。